发布时间:2023-12-16 20:51 来源:杏彩体育app 作者:杏彩体育app手机版
贸易事件频发背景下,国产替代呼声愈高。刻蚀设备在半导体中的重要性仅次于光刻设备,国产替代刻不容缓。
刻蚀是与光刻、薄膜沉积并列的,晶圆制造过程中最重要的三大工艺之一,其对芯片的良品率和产能有很大影响。
刻蚀工艺经历了从湿法到干法的演进,干法刻蚀主要分为等离子刻蚀,离子溅射刻蚀,反应离子刻蚀三种。
2020年,刻蚀设备在晶圆制造设备市场中的占比超过20%,仅次于光刻机的24%。2021年,全球刻蚀设备市场额为199.2亿美元,同比增长45.6%,2022年预计将达到242亿美元。
刻蚀设备市场被外企垄断。2021年,行业TOP3(泛林集团、东京电子、应用材料)占据了行业91%的市场。国内企业中微公司、北方华创、屹唐半导体合计仅占据2.36%。
近年来,贸易限制事件频发,海外缺货、断供风险增加,刻蚀设备国产化紧迫性提升,国内刻蚀产业迎来空前发展机遇且规模巨大。2022年1-9月,中国刻蚀设备进口额达30.25亿美元。
当前,国内刻蚀产业链已初具雏形。刻蚀设备方面,已有北方华创(002371.SZ)、中微公司(688012.SH)、屹唐股份(未上市)等有一定技术实力的企业。
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