发布时间:2024-08-08 02:34 来源:杏彩体育app 作者:杏彩体育app手机版
中国科学院上海技术物理研究所近日公布了其2023年12月的政府采购意向,计划采购一台N型硅锗基六英寸分子束外延设备。据悉,该设备的预算金额为350万元人民币。
分子束外延设备是半导体制造过程中的关键设备,主要用于制备高质量的半导体薄膜。N型硅锗基六英寸分子束外延设备则是在硅锗基底上生长出具有特定电性质的N型半导体薄膜的设备。这种设备在微电子、光电子和纳米科技等领域有着广泛的应用。
根据采购需求概况,该设备需要具备预处理腔极限线 Torr和生长室极限线 Torr的性能。该设备的采购时间在2023年12月。
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