杏彩体育app下载:晶合集成取得半导体清洗设备专利能够提升对待清洗件的

  金融界2023年11月30日消息,据国家知识产权局公告,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“一种半导体清洗设备”,授权公告号CN220092302U,申请日期为2023年6月。

  专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体清洗设备,至少包括:汇流筒;支撑台,设置在汇流筒内,支撑台和汇流筒同轴排布;转动结构,连接于支撑台,转动结构带动支撑台自转;升降结构,连接于支撑台,升降结构带动支撑台沿汇流筒的轴向移动;以及复合喷枪,安装在汇流筒上,复合喷枪包括多个喷淋管,且喷淋管的管口朝向支撑台的台面。本实用新型提供了一种半导体清洗设备,能够提升对待清洗件的清洗效果,提升半导体制程良率。

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